rongo

Ko te hangarau tapahi waea taimana e mohiotia ana ko te hangarau tapahi abrasive.Ko te whakamahi o te electroplating kapia ranei tikanga here o taimana abrasive whakatōpū i runga i te mata o te waea maitai, waea taimana tika mahi i runga i te mata o te rakau silicon ingot silicon ranei ki te whakaputa huri, ki te whakatutuki i te pānga o te tapahi.Ko te tapahi waea taimana nga ahuatanga o te tere tapahi tere, te tika o te tapahi me te iti o te mate taonga.

I tenei wa, kua tino whakaaehia te maakete karaihe kotahi mo te tapahi waea taimana te angiangi silicon, engari kua tutuki ano i roto i te kaupapa whakatairanga, i roto i enei ko te weriweri ma te raru nui.I runga i tenei, ka aro tenei pepa ki te aukati i te tapahi waea taimana monocrystalline silicon angiangi weriweri raruraru ma.

Ko te mahi horoi mo te tapahi waea taimana he angiangi hiraka monocrystalline ko te tango i te angiangi angiangi kua tapahia e te taputapu miihini waea waea mai i te pereti kapia, tango i te riu rapa, ka horoi i te angiangi hiraka.Ko nga taputapu horoi ko te nuinga o te miihini horoi i mua (degumming machine) me te miihini horoi.Ko te mahinga horoi matua o te miihini horoi i mua i te horoi ko: te whangai-te rehu-te rehu-te horoi-ultrasonic-degumming-te horoi o te wai ma te horoi-kaore i te whangai.Ko te tukanga horoi matua o te miihini horoi ko: te whangai-te wai parakore te horoi-te wai parakore te horoi-te horoi-te horoi-te horoi-te horoi-te wai parakore-te wai parakore te horoi-i mua i te whakamaroke (te whakaheke tere) -te whakamaroke-te whangai.

Ko te kaupapa o te hanga weriwe kirikiri kotahi

Monocrystalline silicon angiangi ko te āhuatanga o te waikura anisotropic o monocrystalline silicon angiangi.Ko te matāpono tauhohenga ko te whārite tauhohenga matū e whai ake nei:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Ko te tikanga, ko te tukanga o te hanga suede: Ko te otinga NaOH mo nga rereke rereke o te rereke o te mata karaihe, (100) te tere o te waikura o te mata i te (111), na (100) ki te wafer silicon monocrystalline i muri i te waikura anisotropic, i te mutunga ka hanga i runga i te mata mo (111) koekoe wha-taha, ara te hanganga "koko" (e whakaatu ana i te ahua 1).I muri i te hanganga o te hanganga, ka pa te marama ki te pikitanga tara i tetahi Koki, ka whakaatahia te marama ki te pikitanga i tetahi atu Koki, ka hanga he whakaurunga tuarua, nui ake ranei, na reira ka whakaiti i te whakaata i runga i te mata o te angiangi silicon. , ara, te awenga mahanga marama (tirohia te Whakaahua 2).Ko te pai ake o te rahi me te riterite o te hanganga "koko", ka tino kitea te mahanga o te mahanga, me te heke iho o te mata o te angiangi silicon.

Whakaatu 1: Micromorphology o te angiangi hiraka monocrystalline i muri i te hanga alkali

Whakaahua 2: Ko te maapono mahanga marama o te hanganga "koko".

Te tātaritanga o te kirikiri kirikiri kotahi

Na roto i te karapa irahiko karu hiko i runga i te angiangi silicon ma, i kitea ko te hangahanga moroiti o te angiangi ma i roto i te rohe kaore i tino hanga, me te ahua o te mata he paparanga o te toenga "waxy", i te mea ko te hanganga tara o te suede. i roto i te waahi ma o taua wafer silicon ano i pai ake te hanga (tirohia te Whakaahua 3).Mena he toenga kei runga i te mata o te angiangi angiangi monocrystalline, ka nui ake te rahi o te hanganga "tara" o te mata me te hanga riterite, me te kore e ranea te paanga o te waahi noa, na te mea he teitei ake te whakaata o te mata weriwei i te waahi noa, te te waahi he nui te whakaata ka whakaritea ki te waahi noa o te tirohanga ka whakaatahia he ma.Ka kitea te ahua o te tohatoha o te waahi ma, ehara i te mea he riterite, he rite tonu te ahua ki te waahi nui, engari ki nga waahi noa.Ko te tikanga ko nga parahanga o te rohe i runga i te mata o te angiangi silicon kaore i horoia, ko te ahuatanga o te mata o te angiangi silicon na te parahanga tuarua.

Whakaatu 3: Te whakatairitenga o nga rereketanga o te hanganga moroiti a-rohe i roto i nga angiangi kirikiri ma

He maeneene te mata o te waea taimana e tapahi ana i te angiangi silicon me te iti ake o te kino (penei i te Whakaaturanga 4).Ina whakaritea ki te moata angiangi angiangi, he puhoi ake te tere o te tauhohenga o te alkali me te waea taimana e tapahi ana i te mata angiangi angiangi atu i tera o te moata tapahi monocrystalline te angiangi angiangi, no reira ka tino kitea te awe o nga toenga o te mata i runga i te awe o te werawera.

Whakaaturanga 4: (A) Kaitito mata o te kumete kirikiri angiangi tapatapahi (B) moroiti mata o te waea taimana tapatapahia te angiangi angiangi.

Ko te puna toenga matua o te mata angiangi taimana waea-tapahia te angiangi

(1) Coolant: Ko nga waahanga matua o te waea taimana tapahi hauhautanga he surfactant, dispersant, kohukohu me te wai me etahi atu waahanga.Ko te wai tapahi me te mahi pai he pai te whakatārewatanga, te marara me te ngawari ki te horoi.I te nuinga o te waa he pai ake nga ahuatanga hydrophilic, he ngawari ki te horoi i roto i te mahi horoi angiangi silicon.Ko te whakakorikori tonu me te tohanga o enei taapiri i roto i te wai ka puta he maha o te pahuka, ka heke te rere o te hauhautanga, ka pa ki te mahi whakamahana, me nga raru nui o te pahuka me te puhake, ka tino pa ki te whakamahinga.Na reira, ka whakamahia te mea whakamahana me te kaihoko whakangao.I roto i te tikanga ki te whakarite i te mahi defoaming, te silicone tuku iho me te polyether he hydrophilic rawakore.Ko te whakarewa i roto i te wai he tino ngawari ki te whakauru me te noho tonu ki runga i te mata o te angiangi silicon i roto i te horoi o muri, ka puta te raruraru o te waahi ma.A kaore i te pai te hototahi ki nga waahanga matua o te hauhautanga, Na reira, me hanga kia rua nga waahanga, Ko nga waahanga matua me nga kaihoko whakakore i whakauruhia ki roto i te wai, I te wa e whakamahia ana, kia rite ki te ahua o te pahuka, Kaore e taea te whakahaere i te rahinga te whakamahi me te inenga o nga kaihoko antifoam, Ka taea te tuku mo te nui o nga kaihoko anoaming, Ka piki ake nga toenga o te mata angiangi silicon, He mea ngawari ake te whakahaere, Heoi, na te iti o te utu o nga rawa mata me nga kaihoko whakaheke i te mata. rauemi, Na reira, te nuinga o te hauhautanga kāinga katoa whakamahi tenei pūnaha tātai;Ko tetahi atu mea whakamahana e whakamahi ana i tetahi kaihoko whakaheke hou, Ka taea te hototahi ki nga waahanga matua, Kaore he taapiri, Ka taea te whakahaere tika me te ine i tona nui, Ka taea te aukati i te whakamahi nui, Ko nga mahi he tino watea ki te mahi, Ma te mahi horoi tika, Ka taea te whakahaere i nga toenga ki nga taumata iti rawa, I Hapani me etahi o nga kaihanga o te kainga ka whakamahi i tenei punaha tauira, Heoi, na te nui o te utu o nga rawa, kaore i te kitea te painga o te utu.

(2) Ko te ahua o te kapia me te kapia: i te wa o muri o te tukanga tapahi waea taimana, Ko te angiangi angiangi e tata ana ki te pito taumai kua tapahia i mua, Ko te angiangi silicon i te pito putanga kaore ano kia tapahia, Ko te taimana tapahi wawe. Kua timata te waea ki te tapahi ki te paparanga rapa me te pereti kapia, Na te mea ko te kapia rakau silicon me te papa kapia he hua epoxy resin, Ko tona waahi ngawari kei waenga i te 55 me te 95 ℃, Mena ko te waahi ngawari o te paparanga rapa, te kapia ranei he iti te pereti, ka ngawari te wera i te wa o te tapahi, ka ngawari, ka rewa, Ka piri ki te waea rino me te mata angiangi, Ka heke te kaha o te tapahi o te raina taimana, Ka riro mai ranei nga angiangi silicon me kua poke ki te kapia, Kia piri, he tino uaua ki te horoi, Ko te nuinga o nga mea ka pa ki te taha o te tapa o te angiangi silicon.

(3) te paura silicon: i roto i te tukanga o te tapahi waea taimana ka whakaputa i te nui o te paura silicon, me te tapahi, ka nui ake te teitei o te paura whakamahana moata, ka nui te paura, ka piri ki te mata silicon, me te tapahi waea taimana o te paura silicon te rahi me te rahi ka arahi ki te ngawari ki te whakauru ki runga i te mata silicon, he uaua ki te horoi.No reira, me whakarite te whakahou me te kounga o te whakamatao me te whakaiti i te paura o roto i te whakamatao.

(4) te horoi horoi: te whakamahi o naianei o nga kaihanga tapahi waea taimana i te nuinga o te waa e whakamahi ana i te tapahi moata i te wa ano, ko te nuinga o te whakamahi i te tapahi moata i mua i te horoi, te horoi horoi me te kaihoko horoi, me era atu, te hangarau tapahi waea taimana kotahi mai i te miihini tapahi, hanga he Ko te huinga katoa o te raina, te hauhautanga me te tapahi kumete he nui te rereketanga, na reira ko te tikanga horoi e rite ana, te inenga o te kaihoko horoi, te tauira, me era atu mo te tapahi waea taimana kia rite te whakatikatika.Ko te kaihoko horoi he waahanga nui, ko te surfactant o te tauira horoi taketake, ko te alkalinity e kore e pai mo te horoi i nga waea taimana tapahi silicon angiangi, me waiho mo te mata o te taimana waea hiako angiangi, te hanganga me nga toenga mata o te kaihoko horoi kua whakaritea, me te tango te tukanga horoi.Ka rite ki te korero i runga ake nei, kaore e hiahiatia te hanganga o te kaihoko whakakore i te tapahi moata.

(5) Te wai: te tapahi waea taimana, te horoi i mua i te horoi me te horoi i te wai waipuke kei roto nga poke, ka uru pea ki te mata o te angiangi silicon.

Whakaitihia te raruraru o te hanga i nga makawe weriwe kia ma ka puta nga whakaaro

(1) Hei whakamahi i te hauhautanga me te mararatanga pai, me te mea whakamahana ki te whakamahi i te iti o te toenga whakaheke hei whakaheke i te toenga o nga waahanga whakamatao i runga i te mata o te angiangi silicon;

(2) Whakamahia te kapia me te pereti kapia hei whakaiti i te poke o te angiangi silicon;

(3) Ka waimeha te whakamatao ki te wai parakore kia kore ai e ngawari te toenga o nga poke i roto i te wai kua whakamahia;

(4) Mo te mata o te waea taimana tapahia silicon angiangi, te whakamahi i te mahi me te horoi pānga atu pai māngai horoi;

(5) Whakamahia te raina taimana coolant ipurangi whakaora pūnaha ki te whakaiti i te ihirangi o te paura silicon i roto i te tukanga tapahi, kia rite ki te whakahaere tōtika te toenga o te paura silicon i runga i te mata angiangi silicon o te angiangi.I te wa ano, ka taea hoki te whakanui ake i te whakapai ake o te pāmahana wai, te rere me te wa i roto i te horoi i mua, ki te whakarite kia horoia te paura silicon i roto i te waa.

(6) Kia whakanohoia te angiangi silicon ki runga i te tepu horoi, me mahi tonu, me te pupuri i te angiangi angiangi silicon i roto i te tukanga horoi katoa.

(7) Ko te angiangi silicon e pupuri ana i te makuku o te mata i roto i te tukanga o te degumming, a kaore e taea te whakamaroke maori.(8) I roto i te tukanga horoi o te angiangi silicon, ka taea te whakaiti i te wa e kitea ana i roto i te rangi ka taea ki te aukati i te hanga puawai i runga i te mata o te wafer silicon.

(9) Kaua nga kaimahi horoi ki te whakapiri tika ki te mata o te angiangi silicon i te wa o te mahi horoi katoa, me mau nga karapu rapa, kia kore ai e whakaputa i nga tohu maihao.

(10) I roto i te tohutoro [2], ka whakamahia e te mutunga o te pākahiko hauwai hauwai H2O2 + alkali NaOH tukanga horoi rite ki te ōwehenga rōrahi o 1:26 (3%NaOH otinga), e taea te whakaiti i te puta o te raruraru.He rite tona maataapono ki te otinga horoi SC1 (e mohiotia ana ko te wai 1) o te wafer silicon semiconductor.Ko tana tikanga matua: ko te kiriata waikura i runga i te mata angiangi silicon e hangaia ana e te oxidation o H2O2, e waikurahia ana e te NaOH, a, ka puta tonu te waikura me te waikura.Na reira, ko nga matūriki e piri ana ki te paura silicon, te kapia, te whakarewa, me etahi atu) ka taka ano ki roto i te wai horoi me te paparanga waikura;nā te hāoratanga o te H2O2, ka pirau te mea pararopi kei runga i te mata angiangi hei CO2, H2O ka tangohia.Ko tenei mahinga o te horoi ko nga kaihanga angiangi silicon e whakamahi ana i tenei mahi ki te whakahaere i te horoi o te waea taimana tapahi i te wafer silicon monocrystalline, te angiangi silicon i roto i te whare me Taiwan me etahi atu kaihanga pākahiko e whakamahi ana i nga amuamu raruraru ma.Kei reira ano hoki nga kaihanga pākahiko kua whakamahia he rite tonu te mahi purei i mua i te horoi, he pai hoki te whakahaere i te ahua o te wereweti ma.Ka taea te kite ka taapirihia tenei mahinga horoi ki roto i te mahi horoi angiangi silicon ki te tango i te toenga angiangi silicon kia pai ai te whakaoti i te raru o nga makawe ma i te mutunga o te pākahiko.

whakatau

I tenei wa, ko te tapahi waea taimana kua waiho hei hangarau tukatuka matua i roto i te waahanga o te tapahi karaihe kotahi, engari i roto i te tukanga o te whakatairanga i te raruraru o te hanga i te ma o te wereweti ma, kua raruraru nga kaihanga angiangi me nga kaihanga pākahiko, e arahi ana ki nga kaihanga pākahiko ki te tapahi waea taimana. he ātete te angiangi.Na roto i te tātaritanga whakatairite o te waahi ma, ko te nuinga ka puta mai i te toenga i runga i te mata o te angiangi silicon.Kia pai ake ai te aukati i te raru o te angiangi silicon i roto i te pūtau, ka tātarihia e tenei pepa nga putake o te parahanga o te kirikiri angiangi, tae atu ki nga whakaaro whakapai me nga ine i roto i te hanga.E ai ki te maha, te rohe me te ahua o nga wahi ma, ka taea te tātari me te whakapai ake i nga take.Ka tino taunakitia kia whakamahia te hauwai peroxide + te tukanga horoi alkali.Ko te wheako angitu kua whakamatauhia ka taea e ia te aukati i te raru o te tarai waea taimana e tapahi ana i te angiangi angiangi ma te hanga i te whakamaarama o te werawera, mo te tohutoro o nga umanga umanga me nga kaihanga.