E mohiotia ana hoki te hangarau tapahi waea taimana e rite ana ki te whakakotahi i te hangarau tapahi. Ko te whakamahinga o te tikanga hereno, te noho ranei o te taimana harore i runga i te mata o te kowiri tira, ka mahi tika te waea taimana i te mata o te koriri, hei whakatutuki i te hurihuri. Ko te tapahi waea taimana he tohu mo te tere tapahi tere, te tapahi tika me te iti o te ngaro o te taputapu.
I tenei wa, ko te maakete karaihe kotahi mo te tapahi Diamond Wicon Wafer kua tino manakohia, engari kua paahitia ano hoki i roto i te kaupapa whakatairanga, i roto i te ahua o te werawera ko te raru noa. I te tirohanga o tenei, e arotahi ana tenei pepa ki te aukati i te tapahi waea waea mo te monocrystalline silicon wavelt ma.
Ko te tukanga horoi i te taatete waea taimana monocrystalline silicon ko te tango i te miihini miihini Silicon i te taputapu miihini mai i te riihi riki, tangohia te riipene riki. Ko te taputapu horoi te nuinga o te miihini i mua i te horoi (Miihini Miihini) me te miihini horoi. Ko te tukanga horoi horoi nui o te miihini horoi-mua: Te whangai-whangai-rehu-rehu-horoi-wai-horoi wai horoi-kore-waikore. Ko te tukanga horoi horoi nui o te miihini horoi: Te whangai i te wai-parakore wai-parakore te wai horoi-alkali horoi horoi-wai parakore.
Te parau tumu o te hanga manu-kotahi
Monocrystalline Silicon Wafer te ahuatanga o te aukati Anisotropic o Monocrystalline Sicon Wafer. Ko te kaupapa o te tauhohenga ko te toenga tauhohenga tauhohenga matū:
SI + 2Nah + H2O = NA2Sio3 + 2H2 ↑
Ko te tikanga, ko te mahinga Shede Sudetion: ko te otinga a Naoh mo te rereketanga o te mata karaihe rereke, (100) ki te taumata o te monocrystalline silicon ranei (111) Ko te hanganga e wha nga waahanga, ara "ko" Pyramid "te hanganga (rite whakaaturia i te Whakaahua 1). I muri i te hanganga o te hanganga, ina he raru te maarama ki te koki i tetahi koki, ka whakaatuhia te rama ki te taha o tetahi atu kowhatu, ko te whakaheke i te tirohanga ki te mata o te silicon , ara, ko te hua marama marama (tirohia te Whakaahua 2). Ko te pai ake o te rahi me te whakakotahi o te hanganga "Pyramid", ka kitea ake te hua o te mahanga, me te raro o te mata e whakakore ana i te kaarei a Silicon.
Whakaahua 1: Microrphology o Monocrystalline Silicon Wafer i muri i te mahinga a Alkali
Whakaata 2: Ko te tikanga mahanga marama o te hanganga "Pyramid"
Te tātaritanga o te tiihi karaihe kotahi
Na te matawai i te whaikorero a te miihini i runga i te maakahi ma, i kitea ko te microstruncherceructure o te maana o te rohe ko te "waxy" te reanga o te suedid I te rohe ma o taua mea silicon ka hangaia he pai ake (tirohia te ahua 3). Mena he toenga kei runga i te mata o Monocrystalline Sicon Wafer, ka iti te rahi o te hanganga o te rahinga me te whakatipuranga o te waahi. Ko te waahi me te whakaata teitei ka whakaritea ki te waahi noa i roto i te tirohanga whakaata he ma. Ka rite ki te kitea mai i te ahua tohatoha o te rohe ma, ehara i te waa, i te ahua noa ranei i te waahi nui, engari i nga rohe o te rohe. Ko te tikanga kia kore e horoia nga kaihopu o te rohe ki te mata o Silicon i te papa, ko te ahuatanga o te mata o te kaawhiawhi i puta mai i te paruru tuarua.
Whakaahua 3: Whakataurite mo nga rereketanga Microstrustor a-rohe i roto i nga Waanui White White Whero
Ko te mata o te dilicon waea taraihia he pai ake te maamaa me te kino o te kino (penei i te Whakaahua 4). I whakaritea ki te Millicon Silicon Wafer, ko te tere tere o te alkali me te tapahi i te taapahi i te taha o te mokete mo te toenga o te toenga monocrystal.
Whakaahua 4: (a) Te mata micrograph o te paru tapahi silicon wafer (b) mata micrograph of diamond waea tapahia silicon wafer
Ko te puna toenga matua o te diamond waea-tapahia silicon te mata o te mata
. Ko te wai tapahi me te tino mahinga he pai te aukati, te wehewehe me te kaha horoi ngawari. He pai ake te ahua o nga papa rererangi, he ngawari ki te horoi i roto i te mahi horoi horoi a Silicon. Ko te whakaohooho tonu me te tohatoha o enei taapiri i roto i te wai ka nui te pahuka i te rere o te hauota, ka pa ki nga raru o te makariri, me nga raru o te mate. Na reira, ka whakamahia te korowai ki te kaihoko tahae. Hei whakarite i te tikanga o te aukati i te mahi, ko te silicone tuku iho me te polyether he iti rawa te hydrophilic. Ko te whakarewa o te wai he tino ngawari ki te adsorb ka noho tonu ki te mata o te silicon i te horoi i muri mai, ka raru i te waahi ma. Na kaore i te tino hototahi ki nga waahanga matua o te hauota, na, me hanga nga waahanga e rua, ko nga waahanga matua me nga kaihoko, i runga i te ahuatanga o te mate, kaore e taea te whakahaere Te whakamahi me te inenga o nga kaihoko antifoam, ka taea te tuku i nga moni whakaheke i te toenga o te mata o Silicon, heoi, i te iti o te utu o nga taonga mata me te kaihoroi Ko nga rauemi, na, ko te nuinga o te whare coolant o te whare ka whakamahi i tenei punaha tātai; Ko tetahi atu e whakamahi ana i te kaihoko hou, ka taea te hototahi ki nga waahanga matua, kaore he taapiri, ka taea te aukati i te nui o te whakamahinga, he waatea ano nga mahi, me te mahi horoi tika, me te mahi horoi tika Ko nga toenga ka taea te whakahaere ki nga taumata tino iti, i Japan me etahi o nga kaihanga whare, heoi, e tika ana mo tana utu nui, kaore i te kitea tona utu utu.
(2) Katihia me te Restin Putanga: I te wa i muri mai o te tapahi waea waea, ko te Silicon Wafer e tata ana ki te mutunga o te huringa kaore ano kia tapahia, ko te taimana moata Kua tiimata te waea ki te papapa me te pereti riki, na te papa o Siliken ko nga hua epoxy i waenga i te 55 me te 95 ℃. He iti te pereti, ka taea e te wera te wera i te wa tapahi ka waiho kia ngohengohe, ka rewa te mata o te raina taimana, ka riro mai ranei i te waarangi o te riipene. I pania ki te hinu, ka piri tonu, he tino uaua ki te horoi, ko te nuinga o te poke ka puta i te taha o te taha o te silicon.
. me te tapahi waea taimana o te rahi paura silicon me te rahi te arahi ki te whakatairanga ake i te mata silicon, he uaua ki te horoi. Na reira, me whakarite te whakahoutanga me te kounga o te hauota ka whakaiti i nga ihirangi paura i roto i te hauota.
(4) Te Hono Horoi: Ko te whakamahinga o te taatete waea taimana e whakamahi ana i te tapahi i te mokete i te wa ano, te tikanga horoi me te horoi i nga taimana. Ko te huinga oti o te raina, te tapahi i te paru me te taapiri he rereke, na reira ko te horoinga horoi, te horoi i te kaihoko, te tauira, me etahi atu mo te tapahi waea taimana. Ko te kaihoko horoi tetahi waahanga nui, ko te papa horoi a te kaihoko mo te horoi i nga taimana waea taimana, me noho tonu me te toenga o te kaihoko. te tukanga horoi. Kei te whakahuahia i runga ake nei, kaore e hiahiatia ana te hanganga o te kaihoko whakaheke i te tapahi paru.
(5) Te wai: Te tapahi waea taimana, te horoi me te horoi horoi i te wai ka poke i te poke, ka akina pea te mata o te kaarei Silicon.
Whakaitihia te raru o te hanga i nga huruhuru whero o te huruhuru ma
(1) ki te whakamahi i te hauhautanga pai me te marara pai, me te hauhautanga e hiahiatia ana hei whakamahi i te reanga whakaheke iti ki te whakaheke i nga waahanga o te coolant i te mata o te Silicon Wafer;
(2) Whakamahia te kāpia tika me te pereti riki hei whakaiti i te aukati o te miiharo silicon;
(3) Kua waimeha te hauota ki te wai parakore kia kore ai e poke nga poke o te wai;
(4) Mo te mata o te diamond waea tapahi Silicon Wafer, whakamahi i nga mahi me te horoi i nga kaihoko horoi pai ake;
(5) Whakamahia te punaha whakaora i te raina i te raina whakaora i te ihirangi o te riipene o te tapahi, kia pai ai te whakahaere i te toenga o Silicon. I te wa ano, ka taea hoki te whakapiki ake i te whakapainga o te pāmahana wai, te rere me te waa i mua i te horoi, kia kore ai e horoia te paura silicon
(6) Kia tuuhia te kaihoroi silicon i runga i te tepu horoi, me ata rongoa, kia mau tonu te horoi i te silicon i te wa e maku ana i te waa horoi katoa.
. (8) I roto i te huringa horoi o te Silico Bear, ka taea te whakaheke i te waa i te hau e taea ai te aukati i te hanga puawai i te mata o te kaitao silicon.
(9) Kaore nga kaimahi horoi e whakapā atu ki te mata o te silicon i te wa katoa o te horoi horoi, me whakakakahu i nga karapu rapa, kia kore ai e whakaputa i te panui maihao.
(10) I roto i te tohutoro [2], ka whakamahia e te pākahiko pākahiko H2O2 + te mahi horoi horoi i runga i te tatauranga rōrahi o te 1:26 (3% o te otinga naih), ka taea te whakaiti i te tupono o te raru. Ko tana tikanga he rite ki te otinga horoi SC1 (e mohiotia ana ko te wai 1) o te kaihoroi sicoon. Ko tana tikanga matua: ko te kiriata hāora i runga i te mata o te H2O2, he mea hanga na Naoh, me te kohungahunga me te koroni i te wa tonu. Na reira, ko nga matūriki e piri ana ki te paura silicon, resin, whakarewa, me era atu) ka taka ki te wai horoi me te paparanga o te papa horoia; Na te mea ko te kohinga o te H2O2, ko te mea nui i runga i te mata o te kaawhiawhi ka pakaru ki te CO2, H2O ka tangohia. Ko tenei mahi horoi he kaiwhakanao Silicon Wafer ma te whakamahi i te horoi o te tapahi diarocon Monocrystalline Silicon i roto i te whare o te whare kohuru me te whakamahi i nga amuamu raru a Velget. Kei reira hoki nga kaiwhakanao o te pākahiko i whakamahia rite te mahinga horoi i mua i te horoi, ka whai hua te whakahaere i te ahua o te maaka ma. Ka kitea ko tenei tukanga horoi i roto i te mahi horoi horoi a Silicon ki te tango i te toenga o Silicon Wafer kia pai ai te whakaoti i te raru o nga makawe ma.
wāhanga whakamutunga
I tenei wa, ko te tapahi waea taimana kua riro hei hangarau tukatuka matua i te waahanga o te tapahi Crystal Crystal, engari i te huringa o te raru o Vhevike me nga kaiwhakanao o te pākahiko a Silicon Kei te tohetohe tetahi. Na roto i te tātaritanga whakataurite o te rohe ma, na te mea i puta mai i te toenga i runga i te mata o Silicon. Kia pai ai te aukati i te raru o Silicon i te pūtau, ka tātarihia e tenei pepa nga puna ka taea te aukati i te mata o Silicon, me te whakapai ake i nga mahi. E ai ki te tau, rohe me te ahua o nga ma ma, ka taea te tātari me te whakapai ake. He tino taunaki kia whakamahia te hydrogen peroxide + tukanga horoi horoi alkali. Kua whakaatuhia te wheako angitu ka taea e te aukati te aukati i te raru o te tapahi i te taatai a Silicon Waea Silicon e hanga ana i te werawera whero, mo nga kaihanga o te umanga umanga.
Te wa tuku: Mei-30-2024